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分子篩制氧工藝：按吸附壓力不同分為PSA、VSA（另稱VPSA）制氧設備兩種。PSA（Pressure Swing Adsorption）即加壓吸附（>0.1MPa）；VSA(Vacuum Swing Adsorption)即常壓吸附（<0.1MPa）。
PSA制氧工藝：將原料空氣通過螺桿壓縮機增壓至0.3~0.5Mpa（高壓）工況下，三級除油冷干機除水后，輸送至裝填有此吸附劑顆粒的塔容器中，吸附去除空氣中的氮氣、二氧化碳和水分等；吸附劑顆粒吸附飽和后，直接通過放空降壓方式，使吸附在吸附劑顆粒上的氮氣、二氧化碳和水分等解吸排出，當解吸完成后，再輸入原料空氣，又富集出氧氣。通過二塔或多塔的吸附--解吸的循環操作，從而不斷富集出85~95%的氧氣。
VSA制氧工藝：將原料空氣通過制氧專用無油低壓風機提升至~0.06MPa（微正壓）工況下，輸送至裝填有分子篩顆粒的塔容器中，吸附去除空氣中的氮氣、二氧化碳和水分等，富集出氧氣；當分子篩顆粒吸附飽和后，通過制氧專用排氮機對其抽負壓，在負壓狀態下，吸附在分子篩顆粒上的氮氣、二氧化碳和水分等解吸排出，當解吸完成后，再進入下一周期，吸附富集出氧氣。通過二塔或多塔的吸附--解吸的循環操作，從而連續富集出90~96%的氧氣。
VSA制氧設備與PSA制氧技術對比表
制氧工藝 | VSA制氧設備 | PSA制氧設備 |
空氣源 | 通過低壓無油專用風機輸送原料空氣 | 通過空氣壓縮機輸送原料空氣 |
空氣源 壓力 | 常壓操作（＜0.1MPa） | 高壓操作（＞0.1MPa） |
是否含油 | 全無油 | 有油 |
空氣源處理方式 | 無油，無需做處理 | 除油、除水（須需定期更換油濾，油容易污染分子篩，使設備制氧失效） |
制氧分子篩 | 壓力低，分子篩不易粉化（分子篩使用10年內無需更換或者添加） | 壓力高，分子篩易粉化，分子篩一般使用3年需更換或者添加。 |
日常維保安全性 | 日常維保操作簡單方便。 安全性能好（所有容器為常壓容器（<0.1MPa），工藝管道為常壓管道（<0.1MPa），安裝時無需報建，每年無需年檢等工作） | 日常維保要求較高，塔容器屬特種設備（所有容器為壓力容器（≥0.1MPa），工藝管道為壓力管道（≥0.1MPa），安裝時需報建，每年需年檢等手續（必須配備壓力容器安全總監和安全員，需進行法律法規、標準和專業知識培訓、考核，并予以記錄、存檔、備查，考核合格后，方可持證上崗。）。 |
氧氣產品 | 產品氧氣中絕對不含油分。 | 生產過程中，如空氣源的三級濾芯不及時維護保養，油分容易污染產品氧氣。 |
運行電耗 | 運行電耗約0.4~0.8Nm3.O2/KW.h（使用海拔不同時，運行能耗稍有不同） | 運行電耗約1.2~3.0Nm3.O2/KW.h（使用海拔高度不同時，運行能耗有不同） |
結論
VSA制氧設備廣泛地應用于高原彌散式供氧系統的現場制氧。VSA制氧經過十余年不間斷運行，是一種成熟、可靠的現場制氧方式，能很好地滿足高原低寒及路途遠保養難（免維護）等特殊使用條件，突破了高原現場制氧的限制和難題：
使用安全：VSA制氧設備配置常壓容器（非特種設備），使用安全；PSA制氧設備配置的為壓力容器（特種設備）；
操作簡單：VSA制氧設備可365天24小時不間斷運行，一鍵啟停操作簡易方便；
低維護費： VSA制氧設備主要維護項目為更換風機皮帶、添加風機齒輪油箱潤滑油等，維護成本低，不及PSA制氧維護成本的十分之一；
耗電量低： VSA制氧設備運行耗電量僅為PSA制氧的三分之一；
安裝簡單：VSA制氧設備為撬裝一體式，無需基礎，方便安裝；
